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Was ist Epitaxie?

Antwort #1

Level 3 (bis zum Physik B. Sc.)
Beantwortet von

Das Wort "Epitaxie" kommt aus dem Griechischen und bedeutet: "auf etwas anordnen". Bei Epitaxie werden also Atome auf ein Substrat angeordnet (auf seine Oberfläche), welches eine (meistens einkristalline) Kristallstruktur besitzt. Atome, die auf das Substrat gebracht werden, ordnen sich nach der Kristallstruktur des Substrats.

  • Bei Homoepitaxie besteht die Atomschicht aus gleichen Atomen wie das Substrat.

  • Bei Heteroepitaxie besteht die Atomschicht aus anderen Atomen als das Substrat.

Auf diese Weise entstehen Halbleiterschichten, die zum Beispiel in LED's und Lasern benutzt werden.

Illustration : Molekularstrahlepitaxie als Epitaxie-Verfahren.