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Illustration Fotolithographie

Fotolithographie
Fotolithographie
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Mithilfe der Fotolithographie werden integrierte Schaltkreise hergestellt, die Du fast in jeder Technik findest. Dabei wird auf ein Substrat (Grundmaterial) eine leitende Schicht aufgetragen (z.B. mittels MBE-Verfahren). Darauf wird dann ein Fotolack (auch Fotoresist genannt) draufgeklebt.

Eine Maske, die den Schaltkreisstruktur beinhaltet, wird dann so nah wie möglich an den Fotolack gebracht und anschließend mit Licht, Elektronenstrahlung oder Röntgenstrahlung beleuchtet. Die beleuchteten Bereiche werden dann beim Ätzen mitentfernt. Der übrig gebliebene Fotolack wird abgemacht. Fertig ist der Schaltkreis.